花崗岩のガントリー

主に次の 3 つの部分で構成されます。  

花崗岩の基礎、梁、柱。スクリューモジュールやリニアモーターモジュールと併用して、高精度のx、y、z 3軸リニアモーションシステムを構築できます。精密工作機械の位置決めや光学的欠陥検出に使用できます。ウエハダイシングや高速検査、位置合わせ貼り合わせなどの半導体装置に幅広く使用されています。金属鋳物に完全に代替でき、変形や内部応力がなく、平行度、直角度が保証されます。

プラットフォームやベースと比較して、花崗岩のガントリー コンポーネントは、水平および垂直スペースにおけるエンジニアの複雑な設計ニーズをよりよく満たすことができます。柱の高さとサイズは柔軟に設計されており、梁スパンは 2 ～ 3 メートルに達します。同じサイズの金属鋳物には内部応力と耐震性があります。自重による抵抗と変形は御影石の部品とは比較になりません。

現在、御影石ガントリー部品は、光ファイバー通信用光結合装置、携帯電話カメラモジュール位置合わせ検出装置、半導体共晶装置、レーザーエッチング装置、バックライトモジュール欠陥検査などの高精度装置での使用が増えており、ハイエンド製品となっています。機器にとってかけがえのない重要な部品です。

製品名: 花崗岩ガントリー

サイズ: オンデマンド

材質：天然御影石

参考比重：2800～3070kg/m3

圧縮強度: 230-254kg/mm2

弾性摩耗: 1.27-1.47N/mm2

線膨張係数：4.6×10-6/℃

吸水率：0.13%

ショア硬度HS70以上

精度は000、00、0、1レベルです。

花崗岩プラットフォームの平坦度計算式：（JJG117-2013規格による）

レベル000：1×(1+d/1000)μm

レベル00：2×(1+d/1000)μm

レベル0:4×(1+d/1000)μm

レベル1:8×(1+d/1000)μm

レベル2：16×(1+d/1000)μm

レベル3:40×(1+d/1000)μm

(dは対角mm)(測定温度20±2℃)